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屹唐股份获得发明专利授权:“用于毫秒退火系统的温度测量系统”

来源:星测 2025-08-02 07:08:42
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示北京屹唐半导体科技股份有限公司新获得一项发明专利授权,专利名为“用于毫秒退火系统的温度测量系统”,专利申请号为CN202111475512.X,授权日为2025年7月29日。

专利摘要:提供用于毫秒退火系统的温度测量系统。在一个示例性实施方式中,系统可以包括:远红外温度传感器,其被配置成获得在小于约450℃的处理温度下的毫秒退火系统中的衬底的一个或更多个温度测量值,毫秒退火系统包括具有晶片平板的处理室,晶片平板将处理室分成顶部室和底部室;处理电路,其被配置成对来自温度传感器的测量值进行处理以确定在小于约450℃的温度的衬底的温度。

通过天眼查大数据分析,北京屹唐半导体科技股份有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目174次;财产线索方面有商标信息75条,专利信息229条;此外企业还拥有行政许可89个。

数据来源:天眼查APP

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