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晶盛机电获得发明专利授权:“一种晶圆双面减薄方法和系统”

来源:星测 2025-08-02 07:10:59
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示浙江晶盛机电股份有限公司新获得一项发明专利授权,专利名为“一种晶圆双面减薄方法和系统”,专利申请号为CN202510488822.7,授权日为2025年7月29日。

专利摘要:本申请涉及晶圆加工领域,尤其是涉及一种晶圆双面减薄方法和系统,包括:获取基板和晶圆之间的压强变化量△P、晶圆位置偏移量△x以及晶圆位置偏移速率;建立基板和晶圆之间的压强变化量△P、晶圆位置偏移量△x以及液体补偿量Q的第一补偿函数模型;基于所述第一补偿函数模型调节供液口的液体补偿量Q以使晶圆对中。一种晶圆双面减薄方法和系统,通过对液体补偿的控制,达到提高晶圆对中的效果。

通过天眼查大数据分析,浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了34家企业,参与招投标项目197次;财产线索方面有商标信息112条,专利信息1069条,著作权信息138条;此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源:天眼查APP

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