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屹唐股份获得发明专利授权：“等离子处理装置的多头处理腔室的压力控制系统”

来源：星测 2025-08-02 07:14:49

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示北京屹唐半导体科技股份有限公司新获得一项发明专利授权，专利名为“等离子处理装置的多头处理腔室的压力控制系统”，专利申请号为CN202110805518.2，授权日为2025年8月1日。

专利摘要：提供一种压力控制系统。该压力控制系统包括构件，该构件至少部分位于泵送端口内，该泵送端口流体耦合在多头处理腔室与泵之间，该泵被配置为从多头处理腔室中抽出气体。该构件可相对于泵送端口转动。该压力控制系统包括多个压力传感器。所述压力传感器中的每个压力传感器被配置为获得指示在多头处理腔室的对应头处进入多头处理腔室的气流的压力的数据。该压力控制系统包括致动器，该致动器被配置为转动所述构件以控制多头处理腔室的第一处理头处的气流的压力。

通过天眼查大数据分析，北京屹唐半导体科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目174次；财产线索方面有商标信息75条，专利信息229条；此外企业还拥有行政许可89个。

数据来源：天眼查APP

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