杭氧股份获得发明专利授权：“一种CVD气氛用稀有气体He的回收装置及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示杭氧集团股份有限公司新获得一项发明专利授权，专利名为“一种CVD气氛用稀有气体He的回收装置及方法”，专利申请号为CN202510519920.2，授权日为2025年8月1日。

专利摘要：本发明公开了一种CVD气氛用稀有气体He的回收装置及方法，涉及的稀有气体回收领域，其中CVD气氛用稀有气体He的回收装置包括依次连接的碱性干燥装置、一级过滤装置、氦气回收膜组、微量杂质脱除装置以及精密过滤装置，碱性干燥装置与CVD反应器的废气出口相连，一级过滤装置用于对废气初步过滤脱除颗粒粉尘，精密过滤装置出口与氦气回收膜组相连，以使精密过滤装置得到的高纯氦气循环净化，本申请提供的CVD气氛用稀有气体He的回收装置及方法，实现了对CVD气氛中稀有气体He的高效回收与净化。本申请循环净化的设计不仅提高了氦气的回收率，还有效降低了因一次性处理导致的产品损失，从而减少了资源的浪费。

通过天眼查大数据分析，杭氧集团股份有限公司共对外投资了101家企业，参与招投标项目597次；财产线索方面有商标信息82条，专利信息471条，著作权信息14条；此外企业还拥有行政许可168个。

数据来源：天眼查APP

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