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中科飞测获得发明专利授权:“电子束阻断器、静电透镜及扫描电镜”

来源:星测 2025-08-07 07:09:14
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示深圳中科飞测科技股份有限公司新获得一项发明专利授权,专利名为“电子束阻断器、静电透镜及扫描电镜”,专利申请号为CN202510451582.3,授权日为2025年8月5日。

专利摘要:本发明涉及一种电子束阻断器、静电透镜及扫描电镜,电子束阻断器包括:具有中心通孔的基体,所述基体沿中心通孔的轴线分为左瓣电极和右瓣电极,所述左瓣电极与右瓣电极之间通过绝缘层隔离;所述左瓣电极和所述右瓣电极用以施加不同电压以产生横向偏转电场,基体靠近中心通孔的一侧设有沿电子束的路径向外延伸的凸起,以增加横向偏转电场区域的纵向覆盖范围,延长电子束在横向偏转电场的受场时间;电子束阻断器集成了静电透镜极片与电子束阻断功能,减少了部件和电源数量,缩小设备体积,利于设备集成,还能降低电磁干扰,提升成像质量,凸起的设计能延长电子束在横向偏转电场的受场时间,进一步提升电子束操控的精准度。

通过天眼查大数据分析,深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目263次;财产线索方面有商标信息332条,专利信息993条,著作权信息35条;此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源:天眼查APP

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