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迈为股份获得发明专利授权:“动态镀膜装置及其动态镀膜方法”

来源:星测 2025-08-07 07:11:19
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示苏州迈为科技股份有限公司新获得一项发明专利授权,专利名为“动态镀膜装置及其动态镀膜方法”,专利申请号为CN202211632285.1,授权日为2025年8月5日。

专利摘要:本发明涉及一种动态镀膜装置及其动态镀膜方法,动态镀膜装置包括控制模块及沿第一方向依次排布的缓冲腔、过渡腔及镀膜腔,过渡腔包括至少三个检测元件,相邻两个检测元件限定出一过渡区间,过渡区间内设有一驱动机构,驱动机构具有工艺速度、传动速度及极限速度;控制模块与检测元件、驱动机构通信连接,用于在靠近镀膜腔的检测元件检测到前一基片远离镀膜腔的尾部离开时控制驱动机构加速至传动速度,且靠近镀膜腔的检测元件检测到后一基片靠近镀膜腔的头部开始离开时控制驱动机构降速至工艺速度;多次追赶的加速度和传动速度较小,降低基片碎片率,缩短相邻基片的间距,实现20mm以下间距连续镀膜,减少靶材浪费,提升镀膜工艺稳定性及产品良率。

通过天眼查大数据分析,苏州迈为科技股份有限公司共对外投资了32家企业,参与招投标项目120次;财产线索方面有商标信息59条,专利信息535条,著作权信息55条;此外企业还拥有行政许可82个。

数据来源:天眼查APP

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