中科飞测获得发明专利授权：“一种对准系统及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示深圳中科飞测科技股份有限公司新获得一项发明专利授权，专利名为“一种对准系统及方法”，专利申请号为CN202411302735.X，授权日为2025年8月5日。

专利摘要：本申请公开了一种对准系统及方法，可应用于半导体技术领域，其中系统包括：设备前端模块和制程模块；设备前端模块包括机械手臂、第一预对准装置以及第二预对准装置；在取片时，机械手臂用于将晶圆从晶圆盒搬运至第一预对准装置，将托盘从托盘盒搬运至第二预对准装置；第一预对准装置用于对晶圆进行预对准；第二预对准装置用于对托盘进行预对准；机械手臂还用于将预对准后的晶圆搬运至预对准后的托盘的上方，并由第二预对准装置将晶圆放入托盘中；机械手臂还用于将承载着晶圆的托盘搬运至制程模块；制程模块用于接收托盘，并对托盘承载着的晶圆进行工艺。由此，通过两个预对准装置分别对晶圆和托盘进行预对准，减少了搬运次数，提高了预对准精度。

通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目263次；财产线索方面有商标信息332条，专利信息993条，著作权信息35条；此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源：天眼查APP

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