中微公司获得发明专利授权：“防止电弧放电的下电极组件、等离子体处理装置及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微半导体设备(上海)股份有限公司新获得一项发明专利授权，专利名为“防止电弧放电的下电极组件、等离子体处理装置及方法”，专利申请号为CN202110750302.0，授权日为2025年8月8日。

专利摘要：本发明提供一种防止电弧放电的下电极组件，设置在一真空反应腔内，包含：基座，用于支承晶圆并作为下电极组件的中心电极；射频电源，用于向中心电极提供第一射频信号；环部件，围绕中心电极；边缘电极，设置在环部件内并与中心电极电绝缘；边缘电极馈电组件，用于向边缘电极提供第二射频信号；边缘电极馈电组件包含：导电芯和环绕设置于导电芯外围的导电屏蔽层，导电芯与导电屏蔽层之间填充有绝缘层，导电屏蔽层与中心电极电性连接；导电屏蔽层与容纳边缘电极馈电组件的通道内壁之间具有间隙，以容纳该通道的热胀冷缩或由机械误差导致的周围部件组合形成的尺寸不匹配。本发明还提供一种等离子体处理装置，以及一种防止下电极组件电弧放电的方法。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1535条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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