屹唐股份获得发明专利授权：“具有冷却系统的快速热处理系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示北京屹唐半导体科技股份有限公司新获得一项发明专利授权，专利名为“具有冷却系统的快速热处理系统”，专利申请号为CN202180003808.3，授权日为2025年8月8日。

专利摘要：本公开提供了用于处理工件的装置、系统和方法。在一个示例中，这种用于进行尖峰退火快速热处理的方法可以包括控制热源开始加热支撑在处理腔室中的工件支撑件上的工件。该方法还可以包括接收指示所述工件的温度的数据。而且，该方法可以包括监测所述工件相对于温度设定点的温度。而且，该方法可以包括至少部分地基于所述工件达到所述温度设定点而控制热源以停止加热工件。此外，该方法可以包括至少部分地基于所述工件达到所述温度设定点而控制冷却系统开始使冷却气体以约300slm或更大的速率流过所述工件，以减小所述工件的t50峰宽。

通过天眼查大数据分析，北京屹唐半导体科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目175次；财产线索方面有商标信息76条，专利信息231条；此外企业还拥有行政许可89个。