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京仪装备获得发明专利授权:“一种机械手末端执行器晶圆检测的光电传感器及机械手”

来源:星测 2025-08-09 07:09:03
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示北京京仪自动化装备技术股份有限公司新获得一项发明专利授权,专利名为“一种机械手末端执行器晶圆检测的光电传感器及机械手”,专利申请号为CN202210910800.1,授权日为2025年8月8日。

专利摘要:本发明提供一种机械手末端执行器晶圆检测的光电传感器及机械手,涉及半导体制造技术领域,光电传感器包括感光元件和电路控制模块,电路控制模块与感光元件电连接,电路控制模块用于接收感应信号并将感应信号与阈值进行比对,以确定所述晶圆的状态;还用于调节所述感光元件的输入光的亮度,并根据所述感光元件感应的所述晶圆的规格对所述阈值进行调节。通过电路控制模块将感应信号与阈值进行比对,进而可以确定晶圆的状态;通过对感光元件的输入光的亮度进行调节,并根据感光元件感应的晶圆的规格对阈值进行调节,以使得感光元件可以检测不同规格晶圆的状态,确保感光元件对于不同规格的晶圆都具有较高的准确度,增大了感光元件的使用范围。

通过天眼查大数据分析,北京京仪自动化装备技术股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目87次;财产线索方面有商标信息50条,专利信息478条,著作权信息54条;此外企业还拥有行政许可13个。

数据来源:天眼查APP

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