盛美上海获得发明专利授权：“化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示盛美半导体设备(上海)股份有限公司新获得一项发明专利授权，专利名为“化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质”，专利申请号为CN202510432151.2，授权日为2025年8月8日。

专利摘要：本申请公开了一种化学液供应系统、换液方法、基板处理装置和介质。化学液供应系统包括第一供应部和控制部，第一供应部包括储液槽、进液管路、第一循环管路、加热器、第一排放管路、冲洗管路和检测装置，进液管路用于向储液槽通入化学液；第一循环管路连接储液槽的进口和出口；加热器设置于第一循环管路；第一排放管路与第一循环管路连接，冲洗管路用于在储液槽和加热器中的化学液从第一排放管路排放后，向储液槽通入冲洗液；检测装置用于检测储液槽和/或第一循环管路中的工艺参数；控制部分别与进液管路、冲洗管路和检测装置通信连接，用于根据检测装置检测到的工艺参数控制进液管路或冲洗管路的通断。本申请能够实现排放以便换液并预防泄露。

通过天眼查大数据分析，盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了17家企业，参与招投标项目168次；财产线索方面有商标信息34条，专利信息592条；此外企业还拥有行政许可32个。

数据来源：天眼查APP

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