中微公司获得实用新型专利授权：“一种静电吸盘、下电极组件及等离子体处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微半导体设备(上海)股份有限公司新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种静电吸盘、下电极组件及等离子体处理装置”，专利申请号为CN202422181512.4，授权日为2025年8月8日。

专利摘要：本实用新型公开了一种静电吸盘、下电极组件及等离子体处理装置。所述静电吸盘包含：自下而上依次设置的基层、中间粘合层及陶瓷层，在所述的中间粘合层侧壁环绕设置有保护环，用于保护所述中间粘合层，在所述保护环与所述中间粘合层侧壁之间设置有耐腐蚀层，所述耐腐蚀层完全覆盖所述中间粘合层的侧壁。本实用新型的静电吸盘，在中间粘合层的侧壁外设置耐腐蚀层及保护环，至少形成双重保护，在经长期服役后，即使保护环的耐腐蚀性能降低或失效，所述耐腐蚀层还可以充分保护中间粘合层，避免腐蚀性气体尤其等离子体与中间粘合层直接接触，从而免受侵蚀，有效延长了静电吸盘的使用寿命，提高半导体制造的整体效率和产品质量。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1535条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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