证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微半导体设备(上海)股份有限公司新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种等离子体处理装置”，专利申请号为CN202422182550.1，授权日为2025年8月8日。
专利摘要：本实用新型公开了一种等离子体处理装置，包括：一真空腔室和位于所述真空腔室内的基座；一介电窗，位于所述真空腔室的顶部，与所述基座相对设置；一线圈，至少部分地位于所述介电窗上方，包括至少两个纵长形的激发段；射频电源，施加射频信号至所述线圈，使得所述两个激发段的电流方向相同，旋转驱动装置，用于驱动所述线圈和/或所述基座转动，使得所述线圈和所述基座在工艺过程中可相对旋转。本实用新型设置的线圈结构可以提高电磁场分布的均匀性以及射频电源的利用效率。
通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1535条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。
数据来源：天眼查APP
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