中微公司获得实用新型专利授权：“一种混气装置和半导体制造设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微半导体设备(上海)股份有限公司新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种混气装置和半导体制造设备”，专利申请号为CN202422400968.5，授权日为2025年8月8日。

专利摘要：本实用新型公开了一种混气装置和半导体制造设备，混气装置包括混气管路、第一进气管路和出气管路。混气管路的中心轴线为第一中心轴，混气管路的侧壁上设置有第一进气口，混气管路的两端区域设置有第二进气口和第一出气口；第一进气管路连接于第一进气口，第一进气管路的中心轴线为第二中心轴，第二中心轴与第一中心轴异面；出气管路的一端连接于第一出气口，出气管路的另一端设有第二出气口。本实用新型的混气装置，将第一进气口的进气轴线与混气管路的中心轴线异面设置，来自第一进气口的气体在混气管路内形成螺旋状的气流，和第二进气口进入的气流混合均匀，提高来自第一进气口和第二进气口的气体混合均匀性。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1535条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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