中微公司获得实用新型专利授权：“一种气体验证装置及半导体处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微半导体设备(上海)股份有限公司新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种气体验证装置及半导体处理设备”，专利申请号为CN202422446632.2，授权日为2025年8月8日。

专利摘要：本实用新型公开了一种气体验证装置及半导体处理设备。气体验证装置，包括罐体，罐体由壳体包裹出空腔，以形成气体容积，罐体上设有进气口和出气口，进气口和出气口分别与空腔连通，出气口串联一阀；在空腔的一侧面上，设置有温度传感器和压力传感器，温度传感器与压力传感器分别嵌入壳体内并与空腔连通。本实用新型通过温度传感器与压力传感器嵌入壳体设置，可以提高气体验证装置的集成度，减少空间占用，同时，由壳体对温度传感器与压力传感器进行密闭保护，使温度传感器与压力传感器免除外界干扰，获得更加准确的测量信息。并且，温度传感器与压力传感器安装位置和温度取样口与压力取样口位置优化，进一步提高了气体验证准确性。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1535条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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