至纯科技获得发明专利授权：“一种简谐运动式晶圆清洗干燥方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示上海至纯洁净系统科技股份有限公司新获得一项发明专利授权，专利名为“一种简谐运动式晶圆清洗干燥方法”，专利申请号为CN202111675322.2，授权日为2025年8月12日。

专利摘要：本发明公开了一种简谐运动式晶圆清洗干燥方法，包括以下步骤：步骤一、将晶圆放置于晶圆清洗槽内；步骤二、向晶圆清洗槽内吹送氮气，氮气吹送完成后，向晶圆清洗槽内输送超纯水润湿晶圆；步骤三、将超纯水排出，向晶圆清洗槽内吹送异丙醇，向晶圆清洗槽内输送超纯水润湿晶圆；步骤四、再次向晶圆清洗槽内吹送异丙醇，晶圆在摆动机构的带动下做简谐运动；步骤五、晶圆向晶圆清洗槽内吹加热后的异丙醇与氮气混合物，超纯水排出；步骤六、晶圆做简谐运动的状态下持续向晶圆清洗槽内吹送异丙醇与氮气混合物，直至晶圆表面干燥。本发明使得水分子在异丙醇分子受到不断间歇性震荡已经完成的循环气流场力的控制下快速被带离槽体而达到干燥效果。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了45家企业，参与招投标项目76次；财产线索方面有商标信息104条，专利信息314条，著作权信息28条；此外企业还拥有行政许可44个。

数据来源：天眼查APP

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