芯源微获得发明专利授权：“一种机械手的自动示教方法、装置、设备及介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示沈阳芯源微电子设备股份有限公司新获得一项发明专利授权，专利名为“一种机械手的自动示教方法、装置、设备及介质”，专利申请号为CN202310838686.0，授权日为2025年8月12日。

专利摘要：本发明提供了一种机械手的自动示教方法、装置、设备及介质，针对非旋转处理装置，只需借助能够使晶圆产生滑动的导正装置，相对于现有的示教工具成本低，示教前只需根据导正装置的大致位置确定机械手的初始位置，通过机械手根据初始位置在导正装置上重复进行放取晶圆的操作，计算放取晶圆前后晶圆中心在机械手上变化的差值，根据差值对机械手的初始位置不断的进行调整，直到调整后的差值小于等于第一预设值时，认为机械手取放晶圆前后，晶圆中心的位置变化小，即晶圆中心和基准位置接近，从而使得晶圆中心与非旋转处理装置的导正装置基准位置的自动对准，实现了机械手的自动示教，不仅成本低，而且提高了示教的准确度和效率。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目321次；财产线索方面有商标信息45条，专利信息612条，著作权信息91条；此外企业还拥有行政许可63个。

数据来源：天眼查APP

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