兴福电子获得发明专利授权：“一种单晶硅精抛液及制备方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示湖北兴福电子材料股份有限公司新获得一项发明专利授权，专利名为“一种单晶硅精抛液及制备方法”，专利申请号为CN202310743059.9，授权日为2025年8月15日。

专利摘要：本发明公开了一种单晶硅精抛液及制备方法，该硅片精抛液由咪唑改性的高纯硅溶胶、渗透剂和成膜剂、表面活性剂、pH调节剂和超纯水组成，各组分所占的质量百分比为：0.5%～20%的咪唑改性的高纯纳米硅溶胶、0.01～1%的螯合剂、0.01%～0.5%的渗透剂，0.001%～0.5%的成膜剂、0.01%～5%的pH调节剂、余量的超纯水。其中咪唑改性的高纯硅溶胶不仅能提高硅溶胶的分散性，而且能减弱硅溶胶与硅片之间的静电斥力，显著地提高硅片的抛光速率；在渗透剂和成膜剂的共同作用下，本发明的精抛液不仅抛光速率高达550 nm/min，且抛光后硅片表面沾污颗粒极少，表面没有划痕和凹陷，表面状态良好。同时本发明精抛液的金属杂质离子控制在10 ppb以下，符合高端集成电路中单晶硅的精抛要求。

通过天眼查大数据分析，湖北兴福电子材料股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目163次；财产线索方面有商标信息7条，专利信息397条，著作权信息6条；此外企业还拥有行政许可277个。

数据来源：天眼查APP

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