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华海清科获得发明专利授权：“一种晶圆支撑装置和晶圆清洗装置”

来源：星测 2025-08-20 07:20:35

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科股份有限公司新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆支撑装置和晶圆清洗装置”，专利申请号为CN201911407703.5，授权日为2025年8月19日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆支撑装置和晶圆清洗装置，晶圆支撑装置包括支撑组件，所述支撑组件移动以水平支撑晶圆；至少一支撑组件可相对于其移动方向摆动以调节支撑组件的位置。本发明所述晶圆支撑装置使得支撑辊与晶圆的外缘均匀接触，保证晶圆的可靠支撑，设置在晶圆侧部的清洗刷有效去除晶圆表面的杂物，实现晶圆表面的清洗。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目229次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息707条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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