证券之星消息,根据天眼查APP数据显示上海飞凯材料科技股份有限公司新获得一项发明专利授权,专利名为“减少光刻胶使用量的方法及其应用”,专利申请号为CN202211618295.X,授权日为2025年8月19日。
专利摘要:本发明提供了一种减少光刻胶使用量的方法,包括以下步骤:提供衬底,在所述衬底上形成第一光刻胶湿膜;加热所述第一光刻胶湿膜,得到第一光刻胶层;通过第一印刷网版在所述第一光刻胶层上印刷,得到第二光刻胶湿膜;加热所述第二光刻胶湿膜,得到第二光刻胶层,其中,所述第二光刻胶层具有开孔;以及对所述第二光刻胶层和所述第一光刻胶层的叠加区域通过光掩膜版进行对准曝光,然后显影,以使显影后的所述第二光刻胶层和显影后的所述第一光刻胶层共同形成图形化光刻胶层,其中,所述图形化光刻胶层具有孔隙。本发明能够减少光刻胶的使用量。本发明还提供了一种所述的减少光刻胶使用量的方法在半导体先进封装制程中的应用。
通过天眼查大数据分析,上海飞凯材料科技股份有限公司共对外投资了43家企业,参与招投标项目31次;财产线索方面有商标信息19条,专利信息166条,著作权信息1条;此外企业还拥有行政许可68个。
数据来源:天眼查APP
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