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华海清科获得发明专利授权：“一种晶圆后处理装置”

来源：星测 2025-08-20 07:22:42

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科股份有限公司新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆后处理装置”，专利申请号为CN202311190128.4，授权日为2025年8月19日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆后处理装置，其包括：箱体；夹持组件，设置于箱体中，其能够竖直夹持并带动晶圆旋转；防护组件，设置于所述夹持组件的外周侧，其包括旋转罩和固定罩，所述旋转罩连接于夹持组件并位于待处理晶圆的外周侧，所述固定罩同心设置于旋转罩的外侧；所述旋转罩和/或固定罩形成有阻挡结构，以抑制离心飞散的流体回沾于晶圆表面。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目229次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息707条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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