至纯科技获得实用新型专利授权：“一种用于降低IPA溢出的抽风结构及晶圆烘干设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示上海至纯洁净系统科技股份有限公司新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种用于降低IPA溢出的抽风结构及晶圆烘干设备”，专利申请号为CN202522454279.7，授权日为2026年10月23日。

专利摘要：本实用新型公开了一种用于降低IPA溢出的抽风结构及晶圆烘干设备，涉及半导体生产设备技术领域，包括承载箱体，承载箱体的顶板上设有第一输气管以及第二输气管，承载箱体垂直于长度方向的两侧壁上分别设有第三输气管与出风管，第三输气管与承载箱体内的驱动气缸连接，驱动气缸用于控制第三输气管的通断，出风管连接有负压源，第二输气管的端口处设有第一手动阀，出风管向背离承载箱体的方向依次设有第二手动阀与气动旋转阀，气动旋转阀与IPA浓度检测计信号连接，本申请解决了现有用于晶圆烘干设备的抽风装置抽风结构单一，抽风风向固定，且抽风效率无法根据设备内部IPA蒸汽浓度变化而调整的技术问题。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了45家企业，参与招投标项目79次；财产线索方面有商标信息107条，专利信息352条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可57个。

数据来源：天眼查APP

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