至纯科技获得实用新型专利授权：“一种晶圆夹爪结构”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示上海至纯洁净系统科技股份有限公司新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆夹爪结构”，专利申请号为CN202522549856.0，授权日为2026年10月23日。

专利摘要：本实用新型公开了一种晶圆夹爪结构，包括两侧板、横向连接于两侧板之间的支撑杆、横向连接于两侧板之间并位于支撑杆下方的夹具。该夹具包括两个材料为PTFE的夹爪杆。两夹爪杆上均轴向均开有多个用以夹取晶圆的卡槽。其中一夹爪杆连接设于两侧板的下端处，另一夹爪杆位于前者的上方外侧并分别与两侧板相连。该夹具能够与晶圆接触时有缓冲，不容易产生隐裂和破片，同时采用两个夹爪杆，与晶圆为点接触，接触面少，减少污染概率，有超洁净传输的功能。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了45家企业，参与招投标项目79次；财产线索方面有商标信息107条，专利信息352条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可57个。

数据来源：天眼查APP

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