晶合集成获得发明专利授权：“一种校正方法、计算机可读存储介质及光刻机”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示合肥晶合集成电路股份有限公司新获得一项发明专利授权，专利名为“一种校正方法、计算机可读存储介质及光刻机”，专利申请号为CN202611141368.9，授权日为2026年10月27日。

专利摘要：本发明提供了一种校正方法、计算机可读存储介质及光刻机；光刻机包括沿其光轴布置的照明系统、掩模版、透镜组合构件和投影物镜，掩模版具有指定曝光图案；透镜组合构件和投影物镜之间具有与光轴垂直的基准平面，基准平面具有多个分散布置的测量点；校正方法包括：使具有预定光强的照明光束依次穿过照明系统、指定曝光图案和透镜组合构件，并照射至基准平面；获取预定曝光时长时的每个测量点处的第一实际曝光剂量；根据第一实际曝光剂量和基准平面的对应于预定光强及预定曝光时长的理论曝光剂量校正所述照明系统。该校正方法的应用，可以有效改善照明系统的性能的可靠性，进而改善所述光刻机的光刻效果。

通过天眼查大数据分析，合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目663次；财产线索方面有商标信息76条，专利信息1871条，著作权信息14条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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