芯源微获得实用新型专利授权：“热盘装置及涂胶显影设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示沈阳芯源微电子设备股份有限公司新获得一项实用新型专利授权，专利名为“热盘装置及涂胶显影设备”，专利申请号为CN202522523340.9，授权日为2026年10月30日。

专利摘要：本申请提供了一种热盘装置及涂胶显影设备，其中，热盘装置包括加热机构、驱动机构、第一冷却机构、第二冷却机构，其中，加热机构用于对晶圆进行加热，驱动机构相对所述加热机构运动，第一冷却机构连接于所述驱动机构，第二冷却机构设置于加热机构的下方，用于从加热机构的下方吹扫冷却介质，从而对加热机构进行冷却，驱动机构用于驱动所述第一冷却机构运动至加热机构的上方，并对加热机构的上表面吹扫冷却介质，从而在加热机构的上表面吹扫冷却介质，以从加热机构的上表面对加热机构进行冷却，从而实现在加热机构的上表面和下表面同时对加热机构进行冷却，进而提高对加热机构的冷却效率。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目386次；财产线索方面有商标信息49条，专利信息724条，著作权信息112条；此外企业还拥有行政许可81个。

数据来源：天眼查APP

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