乾照光电获得实用新型专利授权：“一种PECVD自动上下片机”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示厦门乾照光电股份有限公司新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种PECVD自动上下片机”，专利申请号为CN202522435102.2，授权日为2026年10月30日。

专利摘要：本实用新型提供一种PECVD自动上下片机，包括上下片定位机台、搬料机器人及两台PECVD机台，两台PECVD机台并排设置于搬料机器人的左右两侧，所述上下片定位机台设置于搬料机器人的后侧，所述搬料机器人用于完成晶圆在上下片定位机台与PECVD机台之间的搬运动作；所述上下片定位机台上设有卡塞存放区和中转定位区，所述卡塞存放区设有第一卡塞，所述第一卡塞用于存放需要上下料的晶圆；所述中转定位区设有第二卡塞和用于将整叠晶圆定位对齐的定位机构，通过该定位机构，中转定位区可将整叠晶圆定位的同时，也作为缓冲区使用，提高了整体上料效率，且降低了系统的复杂性和制造成本。

通过天眼查大数据分析，厦门乾照光电股份有限公司共对外投资了17家企业，参与招投标项目46次；财产线索方面有商标信息23条，专利信息591条，著作权信息2条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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