证券之星消息,根据天眼查APP数据显示华海清科股份有限公司新获得一项发明专利授权,专利名为“保持环修整装置、化学机械抛光单元及其控制方法和化学机械抛光设备”,专利申请号为CN202511705506.7,授权日为2026年11月6日。
专利摘要:本申请实施例提供了一种保持环修整装置、化学机械抛光单元及其控制方法和化学机械抛光设备,该装置包括基座、修整盘、检测件和控制器;修整盘,设置在基座的一侧,用于在抛光头带动保持环移动至保持环的被磨削面抵接在修整盘远离基座的侧面后,且在抛光头带动保持环相对于修整盘绕保持环的轴线转动的过程中,对保持环的被磨削面进行磨削修整;检测件,设置在基座上,用于在修整盘对保持环进行磨削修整的过程中,检测得到保持环的被磨削面的形状数据;控制器,用于在确定形状数据满足用于指示保持环的被磨削面形状正常的目标条件后,控制抛光头停止带动保持环相对于修整盘转动,以使修整盘对保持环进行的磨削修整结束。本方案可以节省资源。
通过天眼查大数据分析,华海清科股份有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目337次;财产线索方面有商标信息93条,专利信息896条,著作权信息39条;此外企业还拥有行政许可38个。
数据来源:天眼查APP
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