华海清科获得发明专利授权：“晶圆自动刷洗方法、装置、电子设备和计算机存储介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科股份有限公司新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆自动刷洗方法、装置、电子设备和计算机存储介质”，专利申请号为CN202510461678.8，授权日为2026年11月6日。

专利摘要：本申请公开一种晶圆自动刷洗方法、装置、电子设备和计算机存储介质，包括：获取晶圆刷洗装置的设备参数和用于对晶圆进行刷洗的第一控制参数；根据晶圆刷洗装置的设备参数和第一控制参数，确定根据第一控制参数控制晶圆刷洗装置对晶圆进行刷洗时晶圆各区域在对应的重复周期内被刷洗的次数；若晶圆各区域在对应的重复周期内被刷洗的次数满足参数更新条件，则对第一控制参数进行更新，获得第二控制参数，以根据第二控制参数控制晶圆刷洗装置对晶圆进行刷洗时，晶圆各区域在对应的重复周期内被刷洗的次数不满足参数更新条件。本申请能够确保晶圆被刷洗的效果。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目337次；财产线索方面有商标信息93条，专利信息896条，著作权信息39条；此外企业还拥有行政许可38个。

数据来源：天眼查APP

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