华海清科获得发明专利授权：“一种晶圆夹持装置、处理装置和化学机械抛光设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科股份有限公司新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆夹持装置、处理装置和化学机械抛光设备”，专利申请号为CN202511021830.7，授权日为2026年11月6日。

专利摘要：本发明提供一种晶圆夹持装置、处理装置和化学机械抛光设备，晶圆夹持装置包括：挡圈、基座、基座电机和卡爪；基座具有盘状结构，正面间隔设置有卡爪，挡圈以一定间隙环绕基座的外周设置；卡爪包括迎风面、上表面、外表面、内表面和背风面，上表面与基座相对，并沿从迎风面向背风面的方向朝基座倾斜，迎风面沿从上表面向基座的方向朝背风面的倾斜，并沿从外表面向内表面的方向朝背风面倾斜，内表面设置有卡槽以夹持晶圆的边缘；基座电机驱动基座以迎风面在前、背风面在后的方向旋转；以使得晶圆正面的气流不会因卡爪扰动而溢出挡圈。本发明的夹持装置对气流具有引导作用，能避免产生卡爪扰流而造成对晶圆的二次污染。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目337次；财产线索方面有商标信息93条，专利信息896条，著作权信息39条；此外企业还拥有行政许可38个。

数据来源：天眼查APP

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