华海清科获得发明专利授权：“晶圆装载杯、抛光单元、抛光方法和处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科股份有限公司新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆装载杯、抛光单元、抛光方法和处理设备”，专利申请号为CN202510461628.X，授权日为2026年11月6日。

专利摘要：本发明提供一种晶圆装载杯、抛光单元、抛光方法和处理设备，其中，晶圆装载杯包括：基座和清洁部；基座包括晶圆承载部和避让部，晶圆承载部上表面形成有用于支撑晶圆边缘的晶圆承载面，避让部贯穿晶圆承载部并将晶圆承载面中断；清洁部与基座活动设置，清洁部包括清洁头、连接座、支撑杆和驱动装置，清洁头和支撑杆分别、错位固定在连接座的上、下表面，支撑杆和连接座内部具有清洗液路，用于向清洁头供给清洗液；驱动装置推动支撑杆以支撑连接座靠近或远离基座，以使得清洁头的上表面经避让部穿过至高于或低于晶圆承载面。本发明的装载杯能够在线、原位清洁抛光头，从而提高晶圆处理效率。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目337次；财产线索方面有商标信息93条，专利信息896条，著作权信息39条；此外企业还拥有行政许可38个。

数据来源：天眼查APP

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