至纯科技获得实用新型专利授权：“一种晶圆夹持转盘”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示上海至纯洁净系统科技股份有限公司新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆夹持转盘”，专利申请号为CN202522460752.2，授权日为2026年11月6日。

专利摘要：本实用新型公开了一种晶圆夹持转盘，包括转盘、设于转盘表面边缘沿圆周等间距分布的多个用于夹持晶圆的夹持件、以及设于转盘表面用于支撑晶圆的多个支撑件，所述夹持件包括支撑柱和连接于支撑柱上端的夹持块，各个支撑柱与夹持块之间均具有能够独立调整对应夹持块角度、以使得被夹紧固定的晶圆与转盘间保持同心的微调结构。这样，通过各个夹持件上微调结构，可单独调整对应夹持块的角度，确保所有夹持块都能与晶圆边缘形成有效的接触，降低圆跳动值，从而满足高精度清洗对旋转平稳性的要求。此外，通过微调各夹持块角度，能主动修正晶圆的位置偏差，使被夹紧的晶圆与转盘保持同心，从而避免晶圆旋转清洗时清洗药液飞溅至周边加工件。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了45家企业，参与招投标项目79次；财产线索方面有商标信息107条，专利信息361条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可57个。

数据来源：天眼查APP

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