证券之星消息,根据天眼查APP数据显示芯联集成电路制造股份有限公司新获得一项发明专利授权,专利名为“MEMS传感器及其制备方法、电子装置”,专利申请号为CN202211034169.X,授权日为2026年11月10日。
专利摘要:本发明涉及一种MEMS传感器及其制备方法、电子装置。一种MEMS传感器,包括:第一晶圆;第二晶圆,与所述第一晶圆相对设置;键合结构,设于所述第一晶圆和第二晶圆之间;所述键合结构具有键合面;以及绝缘隔离层,覆盖所述键合结构的至少部分侧表面,以将所述键合结构的键合面与外部环境绝缘隔离。本申请实施例所提供的MEMS传感器,通过绝缘隔离层的设置,使得键合结构的键合面与外部环境绝缘隔离,即能有效防止外部环境中的水汽侵蚀键合面后进入MEMS传感器内部,从而更好的保障MEMS传感器的电性能,提高MEMS传感器的可靠性。
通过天眼查大数据分析,芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了20家企业,参与招投标项目1759次;财产线索方面有商标信息18条,专利信息871条,著作权信息3条;此外企业还拥有行政许可43个。
数据来源:天眼查APP
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