芯源微获得实用新型专利授权：“一种涂胶显影设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示沈阳芯源微电子设备股份有限公司新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种涂胶显影设备”，专利申请号为CN202522523324.X，授权日为2026年11月13日。

专利摘要：本实用新型公开了一种涂胶显影设备，包括进片液处理框架和回片液处理框架、进片热处理框架和回片热处理框架、第一传送腔、第二传送腔和第三传送腔；第一传送腔内设有正洗单元和第二暂存单元，第二传送腔内设有背洗单元和第一暂存单元；第一暂存单元用于放置背洗后的晶圆；第二暂存单元用于在第一暂存单元满载后放置背洗后的晶圆；晶圆依次经过进片液处理框架和进片热处理框架后进入背洗单元进行背洗工艺；背洗完成的晶圆经由第一暂存单元或第二暂存单元后依次进入光刻前制冷单元和正洗单元；经正洗单元的正洗工艺后依次经过回片热处理框架和回片液处理框架。本实用新型能够改善暂存单元满载导致的晶圆加工效率降低的问题。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目390次；财产线索方面有商标信息49条，专利信息729条，著作权信息112条；此外企业还拥有行政许可81个。

数据来源：天眼查APP

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