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- 2025-12-18 06:38:3612月17日华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF基金份额增加2600万份，重……
- 2025-12-17 06:38:4912月16日华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF基金份额增加8000万份，重……
- 2025-12-16 06:38:0412月15日华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF基金份额减少1600万份，重……
- 2025-12-13 06:38:0412月12日华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF基金份额增加9400万份，重……
- 2025-12-12 06:37:5812月11日华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF基金份额减少2600万份，重……
