上海新阳获得实用新型专利授权：“温度控制装置及晶圆清洗设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示上海新阳半导体材料股份有限公司新获得一项实用新型专利授权，专利名为“温度控制装置及晶圆清洗设备”，专利申请号为CN202422009428.4，授权日为2025年8月5日。

专利摘要：本实用新型公开了一种温度控制装置及晶圆清洗设备，晶圆清洗设备包括清洗槽、连接管路和的温度控制装置，温度控制装置与清洗槽之间通过连接管路连通，连接管路用于在温度控制装置和清洗槽之间建立供清洗媒介流通的循环通路，通过循环通路实现清洗媒介的实时加热和控温。温度控制装置包括壳体和温度控制单元，温度控制单元设置于壳体，壳体具有容腔，容腔用于容纳清洗媒介，在容腔内设置制冷单元和制热单元，温度控制单元根据接收到的温度信号控制制冷单元或者制热单元启动给清洗媒介制冷或者制热。本实用新型的技术方案能够实现清洗槽中清洗液的实时在线控温，以便更好、更有效地对晶圆进行清洗。

通过天眼查大数据分析，上海新阳半导体材料股份有限公司共对外投资了28家企业，参与招投标项目70次；财产线索方面有商标信息10条，专利信息412条，著作权信息2条；此外企业还拥有行政许可106个。

数据来源：天眼查APP

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