至纯科技获得实用新型专利授权：“一种晶圆干燥用介质的脱泡装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示上海至纯洁净系统科技股份有限公司新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆干燥用介质的脱泡装置”，专利申请号为CN202522609936.0，授权日为2026年10月30日。

专利摘要：本实用新型公开了一种晶圆干燥用介质的脱泡装置，包括介质供液系统、加热器，所述介质供液系统通过管路连接至所述加热器，还包括除泡器，所述除泡器包括内部具有腔体的器身、设于所述器身侧上部的进液管、设于所述器身顶部的出气管、设于所述器身底部的出液管，所述进液管的进口端通过管路与所述加热器相连，所述进液管的出口端穿入所述腔体内并呈向下倾角延伸至靠近所述腔体另一侧内壁，所述出液管的出口端通过管路通至待干燥晶圆处。通过消泡器能够消除I PA介质经过加热器加热后产生或者是从CSM工艺系统中存在的气泡，保证供给到晶圆表面的干燥介质内无气泡，确保晶圆表面的干燥效果。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了45家企业，参与招投标项目79次；财产线索方面有商标信息107条，专利信息360条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可57个。

数据来源：天眼查APP

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