微导纳米获得实用新型专利授权：“供气装置和薄膜沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示江苏微导纳米科技股份有限公司新获得一项实用新型专利授权，专利名为“供气装置和薄膜沉积设备”，专利申请号为CN202522575382.7，授权日为2026年11月3日。

专利摘要：本申请公开了一种供气装置和薄膜沉积设备，涉及半导体工艺设备领域。本申请的供气装置包括供气块和多个供气管路，供气块内形成多个互不连通且互不嵌套的供气通道，每个供气通道均具有出口和入口，多个供气通道的出口设置于供气块的同一侧，多个供气管路与多个供气通道的入口一一对应地连通，供气管路用于连接气源。通过使各个供气通道相互独立并且不互相嵌套，能够使工艺气体在供气块内输送期间有效地隔离，只有在从供气通道的出口排出到反应腔之后才能够相互接触，避免了不同工艺气体过早的接触并反应形成颗粒，从而缓解了颗粒沉积的问题，有利于改善膜层质量。本申请实施例提供的薄膜沉积设备包括上述的供气装置。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目61次；财产线索方面有商标信息141条，专利信息724条，著作权信息21条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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