晶合集成获得实用新型专利授权：“管路保温吹扫装置及半导体设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示合肥晶合集成电路股份有限公司新获得一项实用新型专利授权，专利名为“管路保温吹扫装置及半导体设备”，专利申请号为CN202522768260.X，授权日为2026年11月3日。

专利摘要：本申请涉及一种管路保温吹扫装置及半导体设备；该管路保温吹扫装置包括：储气罐、第一管路、加热器、第二管路和出气喷嘴；储气罐用于提供吹扫气流；第一管路被配置为：进气口与储气罐连通；用于输送吹扫气流；加热器位于第一管路上，用于将第一管路内的吹扫气流加热至目标温度；第二管路被配置为：进气口与第一管路连通；用于输送目标温度的吹扫气流；出气喷嘴被配置为：进气口与第二管路的出气口连通，出气口与工艺腔室的尾气排放管路连通；用于向尾气排放管路喷洒目标温度的吹扫气流，以对尾气排放管路进行管路吹扫。本申请能够在对管路内固体颗粒的进行清扫的同时实现管路保温。

通过天眼查大数据分析，合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目664次；财产线索方面有商标信息76条，专利信息1882条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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