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华海清科公司新闻

·华海清科获得发明专利授权：“位置标定方法”
2026-04-15 03:20:36
·华海清科获得发明专利授权：“一种化学机械抛光驱动组件”
2026-04-15 03:18:59
·华海清科获得发明专利授权：“一种实现轴承水润滑的晶圆清洗装置”
2026-04-15 03:18:50
·华海清科获得实用新型专利授权：“排风装置、排风系统及晶圆加工设备”
2026-04-14 02:41:07
·华海清科获得发明专利授权：“一种基板减薄工作台、基板减薄装置和基板减薄方法”
2026-04-11 02:58:13
·华海清科获得发明专利授权：“保持环和抛光头”
2026-04-11 02:58:08
·华海清科获得发明专利授权：“用于基板减薄设备的基板搬运系统、搬运设备、方法”
2026-04-11 02:57:59
·华海清科获得发明专利授权：“一种用于CMP抛光腔室的清洗装置及清洗方法”
2026-04-11 02:57:58
·华海清科获得发明专利授权：“一种用于化学机械抛光的承载头、抛光系统和抛光方法”
2026-04-11 02:57:48
·华海清科获得发明专利授权：“抛光头及化学机械抛光设备”
2026-04-11 02:57:44

·华海清科获得发明专利授权：“抛光头压力检测设备、方法和用于晶圆加工的抛光设备”
2026-04-11 02:57:27
·华海清科获得实用新型专利授权：“一种晶圆边缘抛光系统”
2026-04-10 03:04:09
·华海清科(688120.SH)：第1000台CMP装备出机并发往国内集成电路龙头企业
2026-04-08 15:36:29
·【ESG动态】华海清科（688120.SH）获华证指数ESG最新评级AA，行业排名第5
2026-03-16 09:09:55
·华海清科获得发明专利授权：“晶圆加工方法、晶圆吸附装置、磨削装置及减薄设备”
2026-03-04 03:10:15
·华海清科获得发明专利授权：“一种用于化学机械抛光的修整装置和抛光系统”
2026-02-28 03:02:56
·华海清科获得发明专利授权：“晶圆金属薄膜厚度的测量方法、装置、抛光设备和介质”
2026-02-28 03:02:48
·华海清科获得发明专利授权：“用于晶圆抛光的承载头、抛光方法和抛光设备”
2026-02-28 03:02:31
·华海清科获得发明专利授权：“一种修整装置和化学机械抛光系统”
2026-02-28 03:01:19
·华海清科获得发明专利授权：“用于晶圆加工的承载头、化学机械抛光设备和方法”
2026-02-25 03:20:20

·【ESG动态】华海清科（688120.SH）获华证指数ESG最新评级A，行业排名第10
2025-12-03 13:35:28
·华海清科(688120.SH)：路新春拟大宗交易减持不超1.00%股份
2025-11-19 18:01:12
·华海清科（688120）2025年三季报简析：营收净利润同比双双增长，公司应收账款体量较大
2025-11-01 06:47:30
·华海清科获得发明专利授权：“一种抛光液落点测量装置”
2025-11-01 03:39:07
·华海清科获得发明专利授权：“晶圆抛光方法及设备、数据处理设备、程序、存储介质”
2025-10-29 03:56:30
·华海清科获得发明专利授权：“用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备”
2025-10-29 03:50:54
·华海清科获得发明专利授权：“抛光垫修整方法、装置、设备、控制器及存储介质”
2025-10-25 03:12:24
·华海清科获得发明专利授权：“金属膜厚在线测量补偿方法、膜厚传感器和设备”
2025-10-25 03:12:09
·华海清科获得发明专利授权：“保持环修整装置、化学机械抛光单元及其控制方法和化学机械抛光设备”
2025-10-25 03:11:34
·华海清科获得发明专利授权：“一种基板减薄装置”
2025-10-25 03:11:26

·华海清科获得发明专利授权：“修整器的控制方法、修整器的控制装置、电子设备及存储介质”
2025-10-25 03:06:59
·华海清科(688120.SH)：10月17日以98.25万回购6896股
2025-10-17 17:35:31
·【ESG动态】华海清科（688120.SH）获华证指数ESG最新评级A，行业排名第9
2025-10-10 17:20:44
·华海清科获得发明专利授权：“一种用于基板后清洗的流体控制装置和流体供应设备”
2025-10-01 03:16:43
·华海清科获得发明专利授权：“防液滴升降机构、化学机械抛光单元和化学机械抛光设备”
2025-10-01 03:15:19
·华海清科获得实用新型专利授权：“抛光头和抛光设备”
2025-10-01 03:12:33
·华海清科获得实用新型专利授权：“抛光机构和抛光模组”
2025-10-01 03:12:32
·华海清科获得发明专利授权：“一种用于化学机械抛光的弹性膜和承载头”
2025-09-27 03:16:04
·华海清科获得发明专利授权：“一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆加工设备”
2025-09-27 03:15:18
·异动！半导体全线拉升！002156，直线涨停
2025-09-24 11:19:02

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