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微导纳米公司新闻
- ·微导纳米(688147.SH)：获得政府补助5300万元
- 2026-05-13 17:30:57
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“一种喷淋组件及半导体设备”
- 2026-05-12 03:21:35
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“滤芯和气体过滤装置”
- 2026-05-05 03:09:23
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“门阀装置”
- 2026-05-02 03:28:04
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“进气管路装置及半导体设备”
- 2026-05-01 03:10:52
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“一种基片搬运机构”
- 2026-05-01 03:10:50
- ·微导纳米（688147）2026年一季报简析：净利润同比下降75.01%，三费占比上升明显
- 2026-04-30 06:53:15
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“沉积系统”
- 2026-04-24 04:18:28
- ·微导纳米获得发明专利授权：“处理设备、镀膜设备、调整件及处理方法”
- 2026-04-22 03:22:34
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“一种沉积设备”
- 2026-04-21 03:24:10
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“等离子体清洗装置及半导体设备”
- 2026-04-21 03:24:07
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“一种半导体设备”
- 2026-04-21 03:23:10
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“门阀装置”
- 2026-04-17 03:11:58
- ·微导纳米获得发明专利授权：“一种加热盘的温度控制方法、加热盘及半导体设备”
- 2026-04-04 03:14:05
- ·微导纳米新注册《半导体设备控制软件V1.0》项目的软件著作权
- 2026-03-28 02:35:16
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“薄膜沉积设备”
- 2026-03-27 03:47:53
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“晶圆缓存腔体和晶圆缓存装置”
- 2026-03-25 03:13:20
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“一种载具的承载机构、载具的转移装置及载具的存放装置”
- 2026-03-25 03:12:20
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“一种移料装置”
- 2026-03-21 03:20:42
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“一种舟及舟的开合工装”
- 2026-03-20 03:22:05
- ·微导纳米获得发明专利授权：“处理装置、限位组件以及处理装置的使用方法”
- 2026-03-18 03:05:21
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“舟脚、载具和镀膜设备”
- 2026-03-18 03:03:41
- ·【ESG动态】微导纳米（688147.SH）获华证指数ESG最新评级BB，行业排名第44
- 2026-03-16 09:09:56
- ·微导纳米公布国际专利申请：“光学器件及其制备方法和应用”
- 2026-03-16 05:02:21
- ·微导纳米公布国际专利申请：“一种小片光伏电池的生产工艺以及一种用于硅片钝化膜沉积和丝网印刷的一体化生产系统”
- 2026-03-15 05:13:14
- ·微导纳米公布国际专利申请：“加热炉和半导体沉积系统”
- 2026-03-07 05:43:58
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“一种移料装置”
- 2026-03-06 02:59:36
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“喷淋装置及沉积设备”
- 2026-03-04 03:08:22
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“分气装置及沉积设备”
- 2026-03-04 03:08:17
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“一种可调注气挡板及沉积设备”
- 2026-03-04 03:07:40
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“舟脚、载具和镀膜设备”
- 2026-03-03 03:02:23
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“喷淋装置及沉积设备”
- 2026-02-17 02:56:39
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“分气装置及沉积设备”
- 2026-02-17 02:56:36
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“一种可调注气挡板及沉积设备”
- 2026-02-17 02:56:10
- ·微导纳米公布国际专利申请：“一种分料装置及片材转移设备”
- 2026-02-14 05:44:54
- ·微导纳米公布国际专利申请：“一种提高晶硅电池表面氧化层钝化效果的工艺”
- 2026-02-14 05:44:40
- ·微导纳米公布国际专利申请：“分料方法及片材转移方法”
- 2026-02-14 05:44:37
- ·微导纳米公布国际专利申请：“半导体设备的清洁方法”
- 2026-02-07 06:13:24
- ·微导纳米获得发明专利授权：“掺杂层的制备方法及其应用”
- 2026-02-04 03:10:46
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“一种加热腔体及沉积设备”
- 2026-01-30 03:31:22
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“沉积设备和沉积系统”
- 2026-01-30 03:30:38
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“一种进气装置及半导体设备”
- 2026-01-30 03:29:47
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“气流可调式喷淋板”
- 2026-01-27 03:33:07
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“一种机台维护登高梯”
- 2026-01-24 05:28:43
- ·微导纳米获得实用新型专利授权：“一种真空冷却暂存机构以及薄膜沉积设备”
- 2026-01-24 05:27:28
- ·微导纳米获得发明专利授权：“一种反渗透膜及反渗透膜的制备方法”
- 2026-01-24 05:01:37
- ·微导纳米获得发明专利授权：“一种基片的承载装置”
- 2026-01-24 04:59:37
- ·微导纳米获得发明专利授权：“一种装置和加工方法”
- 2026-01-24 04:59:17
- ·微导纳米续聘龙文为董秘：2024年薪酬95.9万 公司上市三年市值增加198.52亿
- 2025-12-11 21:16:04
- ·【ESG动态】微导纳米（688147.SH）获华证指数ESG最新评级BBB，行业排名第42
- 2025-12-03 13:35:31
