世界领先的独立纳米技术研究机构--IMEC的首席执行官Luc van den Hove日前表示,“scaling(尺寸缩小)还会继续,我不仅相信它将会继续,而且我认为它不得不继续。”他认为,目前从技术层面来说,FINFET、Lateral Nanowire(横向纳米线) 和Vertical Nanowire(纵向纳米线)已经可以帮我们持续推进到3nm的制程节点。EUV光刻技术将是未来的唯一选择。
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