根据中国国际招标网,1月17日控股子公司上海精测半导体技术有限公司(简称“上海精测”)中标长江存储的3台集成式膜厚光学关键尺寸量测仪。
本次中标,表明上海精测已具备晶圆制造环节的膜厚量测设备重复、批量供应能力,研发、验证、批量销售的进度超预期。此前,量测设备长期被海外厂商KLA、AMAT等垄断,91%来自国际品牌。
根据Gartner数据,量测设备在晶圆制造工艺设备市场中占比11%,全球量测设备市场规模约为60亿美元,其中膜厚设备市场规模7亿美元,占比12%。中国大陆的量测设备市场规模估计为13亿美元,其中膜厚设备市场规模1.5亿美元,但根据长江存储规划3D NAND层数将从目前64层直接增至128层,其膜厚量测设备至少有翻倍增长空间。
由于KLA在多数的量测设备产品分类中的市占率50%-90%,KLA在上下游产业链中具备很强的议价能力,毛利率长期维持在55%-65%范围内,在全球半导体设备行业中处于高盈利水平。
上海精测2019年9月获国家集成电路大基金、上海半导体装备材料产业投资基金等的投资支持,资本金从1亿元增至6.5亿元。有望受益于本土晶圆厂未来3-5年大幅度扩产及年均千亿元设备采购,成为中国未来的KLA。
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