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中微公司公司新闻

· 中微公司获得发明专利授权：“耐腐蚀涂层的镀膜方法及等离子体刻蚀零部件和反应装置”
2024-04-06 02:22:26
· 中微公司获得发明专利授权：“等离子体处理设备”
2024-04-06 02:22:19
· 中微公司获得发明专利授权：“零部件及其封孔方法、等离子体处理装置及其工作方法”
2024-04-06 02:21:56
· 中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理腔内的电弧的检测方法及检测装置”
2024-04-06 02:20:58
· 中微公司获得发明专利授权：“等离子体处理设备及用于等离子体处理设备的接地环组件”
2024-04-06 02:19:17
· 中微公司获得发明专利授权：“一种零部件及其制备方法和等离子体反应装置”
2024-04-06 02:18:44
· 中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理器及其加热器组件”
2024-04-06 02:18:38
· 中微公司获得发明专利授权：“一种MOCVD反应器”
2024-04-06 02:18:02
· 中微公司获得发明专利授权：“形成耐等离子体涂层的方法、零部件和等离子体处理装置”
2024-04-06 02:17:51
· 中微公司获得发明专利授权：“等离子体处理装置”
2024-04-06 02:16:10

· 中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体反应装置、方法及机械臂”
2024-04-06 02:14:07
· 中微公司获得实用新型专利授权：“一种气相沉积设备及其基片承托装置”
2024-04-05 02:03:00
· 中微公司获得实用新型专利授权：“沉积处理设备及其反应腔和气体分配装置”
2024-04-05 02:02:44
· 中微公司获得实用新型专利授权：“一种托盘结构及其外延生长设备”
2024-04-05 02:01:23
· 中微公司获得发明专利授权：“耐腐蚀涂层制备方法、半导体零部件和等离子体反应装置”
2024-03-30 02:36:32
· 中微公司推限制性股票激励计划首次授予对象覆盖99.72%员工
2024-03-27 21:14:00
· 中微公司(688012.SH)：拟推不超过1080万股限制性股票激励计划
2024-03-27 19:52:27
· 中微公司获得实用新型专利授权：“一种静电夹盘及半导体处理设备”
2024-03-27 02:40:55
· 中微公司获得实用新型专利授权：“接地环组件、上电极组件及边缘刻蚀设备”
2024-03-27 02:36:52
· 中微公司获得实用新型专利授权：“一种等离子体处理装置”
2024-03-27 02:32:19

· 中微公司获得实用新型专利授权：“一种气相沉积设备”
2024-03-27 02:28:19
· 中微公司获得实用新型专利授权：“一种托盘结构及其外延生长设备”
2024-03-27 02:27:33
· 中微公司获得实用新型专利授权：“限流环驱动结构和气相沉积设备”
2024-03-27 02:25:00
· 中微公司获得实用新型专利授权：“一种托盘结构及其外延生长设备”
2024-03-27 02:24:41
· 中微公司（688012）2023年年报简析：营收净利润同比双双增长，盈利能力上升
2024-03-20 07:52:43
· 【公告精选】*ST新海收到股票终止上市决定
2024-03-18 22:34:00
· 中微公司2023年净利润同比增长逾五成新增订单金额约83.6亿元
2024-03-18 21:40:00
· 公告精选：*ST新海收到股票终止上市决定；药明康德2023年净利润同比增长9%
2024-03-18 21:16:00
· 中微公司(688012.SH)：2023年净利润同比增长52.67% 拟10派3元
2024-03-18 18:48:18
· 中科飞测推出2024年限制性股票激励计划营收考核目标翻倍增长
2024-03-15 23:28:00

· 中微公司获得发明专利授权：“一种聚焦环、等离子体处理器及方法”
2024-03-13 02:30:55
· 中微公司获得发明专利授权：“用于真空处理设备的内衬装置和真空处理设备”
2024-03-13 02:29:11
· 中微公司获得发明专利授权：“一种隔离环组件、等离子体处理装置及处理方法”
2024-03-13 02:29:10
· 中微公司获得发明专利授权：“等离子体隔离环、等离子体处理装置与基片处理方法”
2024-03-13 02:28:45
· 中微公司获得发明专利授权：“一种薄膜生长系统以及基片托盘和载环组件”
2024-03-13 02:28:23
· 中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理装置及其导磁组件与方法”
2024-03-13 02:27:09
· 中微公司获得发明专利授权：“等离子体处理腔室内部部件及其制造方法”
2024-03-13 02:26:44
· 中微公司获得发明专利授权：“加热组件、基片承载组件及其等离子体处理装置”
2024-03-13 02:26:24
· 中微公司获得发明专利授权：“基片承载组件、化学气相沉积设备及吹扫方法”
2024-03-13 02:26:08
· 中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理装置及其方法”
2024-03-13 02:25:59

· 中微公司获得发明专利授权：“一种气体流量调节装置和调节方法及等离子体处理装置”
2024-03-13 02:25:56
· 中微公司获得发明专利授权：“导热导电弹性复合材料、其制备方法及半导体处理装置”
2024-03-13 02:25:46
· 中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理装置及半导体结构的形成方法”
2024-03-13 02:25:41
· 中微公司获得发明专利授权：“等离子体处理装置及其绝缘窗组件”
2024-03-13 02:25:39
· 中微公司获得发明专利授权：“一种耐腐蚀气体输送部件及其等离子体处理装置”
2024-03-13 02:25:30
· 中微公司获得发明专利授权：“光强度监测调节机构、调节方法及等离子体处理装置”
2024-03-13 02:25:23
· 中微公司获得实用新型专利授权：“一种静电夹盘及半导体处理设备”
2024-03-12 02:27:44
· 中微公司获得实用新型专利授权：“接地环组件、上电极组件及边缘刻蚀设备”
2024-03-12 02:27:21
· 中微公司获得实用新型专利授权：“一种等离子体处理装置”
2024-03-12 02:26:21
· 中微公司获得实用新型专利授权：“一种气相沉积设备”
2024-03-12 02:25:26

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