
中微公司公司新闻
- · 中微公司获得发明专利授权:“一种支撑组件、外延沉积的反应器及其组装方法”
- 2025-08-09 02:51:43
- · 中微公司获得发明专利授权:“防止电弧放电的下电极组件、等离子体处理装置及方法”
- 2025-08-09 02:50:43
- · 中微公司获得发明专利授权:“一种衬底处理方法及系统”
- 2025-08-09 02:49:17
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种紧固结构、上接地环组件及等离子体处理设备”
- 2025-08-08 02:34:23
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种混气装置和半导体制造设备”
- 2025-08-08 02:34:12
- · 中微公司获得发明专利授权:“一种电感耦合等离子处理装置及其刻蚀方法”
- 2025-08-08 02:33:58
- · 中微公司获得发明专利授权:“形成涂层的装置和方法、零部件和等离子体装置”
- 2025-08-08 02:33:51
- · 中微公司获得外观设计专利授权:“晶圆托盘”
- 2025-08-08 02:33:47
- · 中微公司获得发明专利授权:“一种限制环及其制作方法、以及等离子体处理装置”
- 2025-08-08 02:33:40
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种气体验证装置及半导体处理设备”
- 2025-08-08 02:33:24
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种等离子体处理装置”
- 2025-08-08 02:33:19
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种静电吸盘、下电极组件及等离子体处理装置”
- 2025-08-08 02:33:18
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“等离子体处理装置”
- 2025-08-08 02:33:14
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种双腔处理系统”
- 2025-08-08 02:31:44
- · 中微公司获得外观设计专利授权:“流量校准仪”
- 2025-08-08 02:31:43
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种碳化硅外延沉积设备及其基座组件”
- 2025-08-08 02:31:32
- · 中微公司获得发明专利授权:“一种等离子体刻蚀方法”
- 2025-08-08 02:31:19
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种排气组件和气相沉积装置”
- 2025-08-08 02:31:01
- · 中微公司获得发明专利授权:“反应腔、高深宽比结构及其形成方法”
- 2025-07-26 02:52:07
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种进气组件及薄膜沉积装置”
- 2025-07-23 02:55:38
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种半导体处理设备”
- 2025-07-23 02:54:15
- · 中微公司获得发明专利授权:“约束环、等离子处理装置及其排气控制方法”
- 2025-07-23 02:53:39
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种用于气相沉积设备的盖板组件和气相沉积设备”
- 2025-07-23 02:53:32
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种调平装置及半导体处理设备”
- 2025-07-23 02:53:19
- · 中微公司获得发明专利授权:“半导体器件及其形成方法”
- 2025-07-23 02:53:07
- · 中微公司获得发明专利授权:“一种加热器组件及气相沉积设备”
- 2025-07-23 02:53:07
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种阻抗调节装置及等离子体处理设备”
- 2025-07-23 02:52:39
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“晶圆托盘及气相沉积设备”
- 2025-07-23 02:52:17
- · 格隆汇公告精选︱中微公司:预计半年度净利润同比增加31.61%到41.28% 兰生股份:目前未开展“稳定币”相关业务
- 2025-07-17 21:59:18
- · 中微公司获得发明专利授权:“下电极组件及等离子体处理设备”
- 2025-07-09 02:32:17
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种进气组件及薄膜沉积装置”
- 2025-07-08 02:41:22
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种半导体处理设备”
- 2025-07-08 02:39:25
- · 中微公司获得发明专利授权:“约束环、等离子处理装置及其排气控制方法”
- 2025-07-08 02:39:17
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种用于气相沉积设备的盖板组件和气相沉积设备”
- 2025-07-08 02:38:53
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种调平装置及半导体处理设备”
- 2025-07-08 02:38:36
- · 中微公司获得发明专利授权:“半导体器件及其形成方法”
- 2025-07-08 02:38:23
- · 中微公司获得发明专利授权:“一种加热器组件及气相沉积设备”
- 2025-07-08 02:38:22
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种阻抗调节装置及等离子体处理设备”
- 2025-07-08 02:37:46
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“晶圆托盘及气相沉积设备”
- 2025-07-08 02:37:18
- · 中微公司公布国际专利申请:“一种气相沉积设备及其上衬垫”
- 2025-07-05 05:06:41
- · 【ESG动态】中微公司(688012.SH)获华证指数ESG最新评级AA,行业排名第6
- 2025-07-02 09:15:38
- · 中微公司公布国际专利申请:“一种进气装置及气相沉积设备”
- 2025-07-02 06:02:17
- · 中微公司公布国际专利申请:“气体传输装置、半导体处理装置及其工作方法”
- 2025-07-02 06:00:57
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“气体喷淋头及等离子体处理装置”
- 2025-06-21 02:43:46
- · 中微公司(688012.SH):中微临港拟出资不超7.35亿元参与设立私募投资基金
- 2025-06-10 18:19:39
- · 中微公司(688012.SH):向激励对象授予1000万股限制性股票
- 2025-06-10 18:15:35
- · 中微公司获得发明专利授权:“半导体结构、器件及其制备方法”
- 2025-06-10 02:57:03
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种加热部件及半导体处理设备”
- 2025-06-10 02:55:24
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种治具”
- 2025-06-10 02:55:17
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“用于承载环件的前开式传送盒”
- 2025-06-10 02:54:41