
中微公司公司新闻
- · 中微公司获得发明专利授权:“一种射频发生器、半导体处理设备及使用方法”
- 2025-09-13 03:12:59
- · 中微公司获得发明专利授权:“自适应控制的工业设备及其运行方法”
- 2025-09-09 03:07:22
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种气体传输系统及半导体处理设备”
- 2025-09-09 03:05:45
- · 中微公司获得发明专利授权:“限制环以及等离子体处理装置”
- 2025-09-09 03:05:44
- · 中微公司获得发明专利授权:“多区加热装置、下电极组件、等离子处理装置及调温方法”
- 2025-09-09 03:05:44
- · 中微公司获得发明专利授权:“一种接地环及其调节方法及等离子体处理装置”
- 2025-09-09 03:05:41
- · 中微公司获得发明专利授权:“加热装置、CVD设备及半导体工艺处理的方法”
- 2025-09-09 03:05:20
- · 中微公司获得发明专利授权:“一种等离子体处理装置及其调节方法”
- 2025-09-09 03:03:59
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种加热结构及半导体处理设备”
- 2025-09-09 03:02:50
- · 中微公司获得发明专利授权:“用于化学气相沉积装置的托盘和化学气相沉积装置”
- 2025-09-09 03:02:27
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种磁力组件及磁控溅射设备”
- 2025-09-09 02:59:39
- · 中微公司获得发明专利授权:“一种半导体结构的形成方法”
- 2025-09-09 02:59:23
- · 中微公司获得发明专利授权:“一种化学气相沉积设备及其气体混合装置”
- 2025-09-09 02:59:21
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种治具”
- 2025-09-09 02:59:15
- · 中微公司(688012.SH)推出六款半导体设备新产品
- 2025-09-04 21:23:53
- · 中微公司(688012)2025年中报简析:营收净利润同比双双增长,应收账款上升
- 2025-08-30 06:14:29
- · 格隆汇公告精选︱寒武纪:上半年净利润10.38亿元 同比扭亏;森特股份:不涉及“数据中心”相关业务
- 2025-08-26 22:29:16
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种紧固结构、上接地环组件及等离子体处理设备”
- 2025-08-23 03:28:34
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种混气装置和半导体制造设备”
- 2025-08-23 03:28:24
- · 中微公司获得发明专利授权:“一种电感耦合等离子处理装置及其刻蚀方法”
- 2025-08-23 03:27:45
- · 中微公司获得发明专利授权:“形成涂层的装置和方法、零部件和等离子体装置”
- 2025-08-23 03:27:36
- · 中微公司获得外观设计专利授权:“晶圆托盘”
- 2025-08-23 03:27:31
- · 中微公司获得发明专利授权:“一种限制环及其制作方法、以及等离子体处理装置”
- 2025-08-23 03:27:25
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种气体验证装置及半导体处理设备”
- 2025-08-23 03:27:08
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种等离子体处理装置”
- 2025-08-23 03:27:04
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种静电吸盘、下电极组件及等离子体处理装置”
- 2025-08-23 03:27:03
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“等离子体处理装置”
- 2025-08-23 03:26:57
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种双腔处理系统”
- 2025-08-23 03:26:30
- · 中微公司获得外观设计专利授权:“流量校准仪”
- 2025-08-23 03:26:29
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种碳化硅外延沉积设备及其基座组件”
- 2025-08-23 03:26:18
- · 中微公司获得发明专利授权:“一种等离子体刻蚀方法”
- 2025-08-23 03:25:29
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种排气组件和气相沉积装置”
- 2025-08-23 03:25:08
- · 中微公司获得发明专利授权:“一种支撑组件、外延沉积的反应器及其组装方法”
- 2025-08-09 02:51:43
- · 中微公司获得发明专利授权:“防止电弧放电的下电极组件、等离子体处理装置及方法”
- 2025-08-09 02:50:43
- · 中微公司获得发明专利授权:“一种衬底处理方法及系统”
- 2025-08-09 02:49:17
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种紧固结构、上接地环组件及等离子体处理设备”
- 2025-08-08 02:34:23
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种混气装置和半导体制造设备”
- 2025-08-08 02:34:12
- · 中微公司获得发明专利授权:“一种电感耦合等离子处理装置及其刻蚀方法”
- 2025-08-08 02:33:58
- · 中微公司获得发明专利授权:“形成涂层的装置和方法、零部件和等离子体装置”
- 2025-08-08 02:33:51
- · 中微公司获得外观设计专利授权:“晶圆托盘”
- 2025-08-08 02:33:47
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- 2025-08-08 02:33:40
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种气体验证装置及半导体处理设备”
- 2025-08-08 02:33:24
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种等离子体处理装置”
- 2025-08-08 02:33:19
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种静电吸盘、下电极组件及等离子体处理装置”
- 2025-08-08 02:33:18
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“等离子体处理装置”
- 2025-08-08 02:33:14
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- 2025-08-08 02:31:44
- · 中微公司获得外观设计专利授权:“流量校准仪”
- 2025-08-08 02:31:43
- · 中微公司获得实用新型专利授权:“一种碳化硅外延沉积设备及其基座组件”
- 2025-08-08 02:31:32
- · 中微公司获得发明专利授权:“一种等离子体刻蚀方法”
- 2025-08-08 02:31:19
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- 2025-08-08 02:31:01